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2路質(zhì)子混氣系統(tǒng) 型號:WH/MXGQ-2Z庫號:M403821

2路質(zhì)子混氣系統(tǒng) 型號:WH/MXGQ-2Z庫號:M403821

簡要描述:
2路質(zhì)子混氣系統(tǒng) 型號:WH/MXGQ-2Z庫號:M403821
用于控制一種或兩種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐,這種氣體控制系統(tǒng)安裝在移動架上,管式爐可以放在它的上面,氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調(diào)節(jié)閥。結(jié)合微行爐業(yè)的管式爐,它可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐,用來研究氣體環(huán)境對材料的影響。

產(chǎn)品時間:2017-03-17

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廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

生產(chǎn)地址:

2路質(zhì)子混氣系統(tǒng) 型號:WH/MXGQ-2Z庫號:M403821

用于控制一種或兩種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐,這種氣體控制系統(tǒng)安裝在移動架上,管式爐可以放在它的上面,氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調(diào)節(jié)閥。結(jié)合微行爐業(yè)的管式爐,它可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐,用來研究氣體環(huán)境對材料的影響。

質(zhì)量流量控制器
工作電壓:220V
zui大輸出功率:18W
控制范圍:
控制器1:1-199 SCCM
控制器2:1-499 SCCM
工作溫度:5-45 oC
zui大壓力:3x 10^6 Pa
準(zhǔn)確度:±1%FS
機(jī)械壓力表測量范圍:-0.1-0.15MPa(0.01 MPa/grid)
針型閥:304不銹鋼
混氣罐:Φ80*120MM
截止閥:Φ1/4 304不銹鋼
外形尺寸:600*600*650MM

2路質(zhì)子混氣系統(tǒng) 型號:WH/MXGQ-2Z庫號:M403821

2路質(zhì)子混氣系統(tǒng) 型號:WH/MXGQ-2Z庫號:M403821

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